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对于10000级和100000级洁净厂房。预过滤可选用f8过滤器,这样末端高i效过滤器的使用寿命一般可达五年。在国外项目中和国内新项目中,f8过滤器是非均匀流洁净室常见的预过滤器。对于芯片厂100级,10级或更高的级别的洁净厂房,防静电中效袋式过滤器,预过滤器的常见的效率级别为h10,许多新项目索性选用hepa。在国内过去的洁净室空调系统设计中,过滤器常见配置为:粗效中效高i效。那时高i效过滤器的使用寿命仅为1--3年,差的也就几个月。可见,预过滤器的效率的高低决定末端过滤器使用的寿命。
过滤器选型原则
1、孔目数的选择:主要考虑需拦截的杂质粒径,依据介质流程工艺要求而定。各种规格丝网可拦截的粒径尺寸查下表“滤网规格”。
2、过滤器材质:过滤器的材质一般选择与所连接的工艺管道材质相同,对于不同的服役条件可考虑选择铸铁、碳钢、低合金钢或不锈钢材质的过滤器。
3、过滤器阻力损失计算水用过滤器,在一般计算额定流速下,中效防静电袋式过滤器,压力损失为0.52~1.2kpa。
空气过滤器的迅速发展是与---工业和电子工业的发展紧密相关的。在1次i大战期间,由于各种化学毒剂的使用,以石棉纤维过滤纸作为滤烟层的军i用防毒---应运而生。玻璃纤维过滤介质用于空气过滤于1940年10月在美国取得---。50年代,美国对玻璃纤维过滤纸的生产工艺进行了深入的研究,使空气过滤器得到了---和发展。60年代,初效过滤器,hepa过滤器问世;70年代,扬州袋式过滤器,采用微细玻璃纤维过滤纸作为过滤介质的hepa过滤器,对013微米粒径的粒子过滤效率要---99.9998%。八十年代以来,随着新的测试方法的出现、使用评价的提高及对过滤性能要求的提高,发现hepa过滤器存在着---的问题,于是又产生了性能更高的ulpa过滤器。各国仍在努力研究,估计不久就会出现更---的空气过滤器。
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